ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.
Эта часть ISO 14644 определяет систему классификации чистоты поверхностей в чистых помещениях с учетом присутствия химических соединений или элементов (включая молекулы, ионы, атомы и частицы). Эта часть ISO 14644 применима ко всем твердым поверхностям в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, таких как стены, потолки, полы, рабочая среда, инструменты, оборудование и устройства. ПРИМЕЧАНИЕ 1. Для целей данной части ISO 14644 учитываются только химические характеристики частиц. Физические свойства частиц не учитываются, и данная часть ISO 14644 не рассматривает взаимодействие между загрязнением и поверхностью. ПРИМЕЧАНИЕ 2. Эта часть ISO 14644 не включает процесс образования загрязнения и любые зависящие от времени воздействия (отложение, седиментация, старение и т. д.) или зависящие от процесса действия, такие как транспортировка и погрузочно-разгрузочные работы. Он также не включает в себя руководство по методам статистического контроля качества для обеспечения соответствия.
ISO 14644-10:2013 Ссылочный документ
ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц*, 2015-12-01 Обновление
ISO 14644-6 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Словарь
ISO 14644-10:2013 История
2022ISO 14644-10:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхностей на предмет химического загрязнения
2013ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.