ISO 14644-10:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхностей на предмет химического загрязнения - Стандарты и спецификации PDF

ISO 14644-10:2022
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхностей на предмет химического загрязнения

Стандартный №
ISO 14644-10:2022
Дата публикации
2022
Разместил
International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 14644-10:2022
сфера применения
Этот документ устанавливает соответствующие процессы тестирования для определения чистоты поверхностей в чистых помещениях на предмет присутствия химических соединений или элементов (включая молекулы, ионы, атомы и частицы). Этот документ применим ко всем твердым поверхностям в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, таких как стены, потолки, полы, рабочие поверхности, инструменты, оборудование и устройства. П р и м е ч а н и е 1 — Для целей настоящего документа учитываются только химические характеристики частиц. Физические свойства частицы не учитываются, и этот документ не рассматривает взаимодействие между загрязнением и поверхностью. ПРИМЕЧАНИЕ 2. Этот документ не включает процесс образования загрязнения или любые зависящие от времени воздействия (например, осаждение, седиментация, старение) или зависящие от процесса действия, такие как транспортировка и погрузочно-разгрузочные работы. Он также не включает в себя руководство по методам статистического контроля качества для обеспечения соответствия.

ISO 14644-10:2022 История

  • 2022 ISO 14644-10:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхностей на предмет химического загрязнения
  • 2013 ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.



© 2023. Все права защищены.