GB/T 28276-2012
Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Спецификация для процесса растворения пластин. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 28276-2012

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2012

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 28276-2012

сфера применения

Этот стандарт определяет требования к процессу и спецификации оценки процесса, которые следует соблюдать при обработке устройств MEMS с использованием технологии обработки объемных кремниевых пластин. Настоящий стандарт применяется к обработке и контролю качества процесса растворения кремния в массе.

GB/T 28276-2012 Ссылочный документ

• GB 50073-2001 Код проектирования чистого помещения
• GB/T 19022-2003  Системы управления измерениями. Требования к измерительным процессам и измерительному оборудованию
• GB/T 26111-2010 Технология микроэлектромеханических систем.Термины

GB/T 28276-2012 История

• 2012 GB/T 28276-2012 Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Спецификация для процесса растворения пластин.