GB/T 26111-2010
Технология микроэлектромеханических систем.Термины (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 26111-2010
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2011
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2023-09
- быть заменен
- GB/T 26111-2023
- Последняя версия
- GB/T 26111-2023
- сфера применения
- Этот стандарт определяет общие термины и определения материалов, проектирования, обработки, упаковки, измерений и устройств, используемых в области MEMS. Этот стандарт применим к исследованиям, разработкам, оценке и применению в области MEMS.
GB/T 26111-2010 Ссылочный документ
- GB/T 2900.66-2004 Электротехническая терминология Полупроводниковые приборы и интегральные схемы
GB/T 26111-2010 История
- 2023 GB/T 26111-2023 Техническая терминология микроэлектромеханических систем (МЭМС)
- 2011 GB/T 26111-2010 Технология микроэлектромеханических систем.Термины
