2012IEC 62047-10:2011/COR1:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 10. Испытание на сжатие микростолбиков материалов МЭМС; Исправление 1
2011IEC 62047-10:2011 Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Часть 10: Очерк сжатия с использованием техники микропилеров для материалов MEMS (издание 1.0)