ISO 14237:2010
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

Стандартный №: ISO 14237:2010
Дата публикации: 2010
Разместил: International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия: ISO 14237:2010

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет масс-спектрометрический метод вторичных ионов для определения атомной концентрации бора в монокристаллическом кремнии с использованием однородно легированных материалов, откалиброванных с помощью сертифицированного эталонного материала, имплантированного бором. Этот метод применим к однородно легированному бору в диапазоне концентраций от 1 × 1016 атомов/см3 до 1 × 1020 атомов/см3.

ISO 14237:2010 Ссылочный документ

ISO 17560 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии.*， 2014-09-10 Обновление
ISO 18114 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.*， 2021-04-30 Обновление

ISO 14237:2010 История

2010 ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
2000 ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

Специальные темы по стандартам и нормам

Масс-спектрометрия вторичных ионов кислорода Режим масс-спектрометрии вторичных ионов Масс-спектрометрия вторичных ионов Недостатки вторично-ионной масс-спектрометрии Масс-спектрометрия вторичных ионов б Вторичная ионная масс-спектрометрия онкология

стандарты и спецификации

AS ISO 14237:2006 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. GSO ISO 14237:2013 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. BS ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов BS ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. NF X21-070*NF ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. JIS K 0143:2023 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. 09/30153670 DC BS ISO 14237. Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно JIS K 0143:2000 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

© 2025. Все права защищены.