GSO ISO 14237:2013
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

Стандартный №: GSO ISO 14237:2013
Дата публикации: 2013
Разместил: GCC Standardization Organization
Последняя версия: GSO ISO 14237:2013

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет масс-спектрометрический метод вторичных ионов для определения атомной концентрации бора в монокристаллическом кремнии с использованием однородно легированных материалов, откалиброванных с помощью сертифицированного эталонного материала, имплантированного бором. Этот метод применим к однородно легированному бору в диапазоне концентраций от 1 × 1016 атомов/см3 до 1 × 1020 атомов/см3.

GSO ISO 14237:2013 История

2013 GSO ISO 14237:2013 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

Специальные темы по стандартам и нормам

Стандартное соотношение ионов масс-спектра химического вещества

стандарты и спецификации

AS ISO 14237:2006 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. BS ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов BS ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. NF X21-070*NF ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. JIS K 0143:2023 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. 09/30153670 DC BS ISO 14237. Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно JIS K 0143:2000 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

© 2025. Все права защищены.