Настоящий стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение и содержание формы заказа (контракта) на кремниевые мишени, используемые для оптических пленок планарного магнетронного распыления. Настоящий стандарт распространяется на кремниевые мишени для планарного магнетронного распыления тонких оптических пленок.