GB/T 1551-2009
Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 1551-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2021-12
- быть заменен
- GB/T 1551-2021
- Последняя версия
- GB/T 1551-2021
- заменять
- GB/T 1551-1995 GB/T 1552-1995
- сфера применения
- Настоящий метод представляет собой метод измерения удельного сопротивления монокристаллов кремния поточным четырехзондовым методом. Этот метод подходит для измерения толщины образца и кратчайшего расстояния от края образца до любой конечной точки зонда, оба из которых более чем в 4 раза превышают расстояние между зондами для удельного сопротивления монокристалла кремния, а диаметр измерения больше. расстояние между зондами более чем в 10 раз. Сопротивление одной пластины толщиной менее 4-кратного шага зонда. Диапазон удельного сопротивления монокристалла кремния, который можно определить с помощью этого метода, составляет 1×10 Ом·см～3×10 Ом·см.
GB/T 1551-2009 История
- 2021 GB/T 1551-2021 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.
- 2009 GB/T 1551-2009 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния
- 1995 GB/T 1551-1995 Метод испытания удельного сопротивления кремниевых и германиевых брусков с помощью двухточечного зонда
GB/T 1551-2009 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния было изменено на GB/T 1552-1995 Методика измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния и германия коллинеарной четырехзондовой решеткой.
