GB/T 16945-2009
Газ для электронной промышленности.Аргон (Англоязычная версия)

Стандартный №: GB/T 16945-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 16945-2009
заменять: GB/T 16945-1997

сфера применения: Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку, маркировку, хранение и безопасность аргона. Настоящий стандарт распространяется на жидкий и газообразный аргон, выделенный из воздуха и хвостовых газов синтетического аммиака методом глубокого охлаждения, а также аргон, полученный методом очистки. Аргон используется для очистки, защиты и создания давления в системе, а также может использоваться в различных процессах, таких как химическое осаждение из паровой фазы, напыление, плазменное и реактивное ионное травление и отжиг.

GB/T 16945-2009 Ссылочный документ

GB/T 3723 Отбор проб химических продуктов для промышленного использования. Безопасность при отборе проб.
GB/T 4842-2006 Аргон
GB/T 5832.1 Газовый анализ. Определение воды. Часть 1. Электролитический метод.*， 2016-12-13 Обновление
GB/T 8984 Определение угарного газа, углекислого газа и углеводородов в газах. Газохроматографический метод