Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку, маркировку, хранение, транспортировку и безопасность газообразного азота, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на газообразный и жидкий азот, выделенный из воздуха криогенными методами, а также на азот, полученный электрохимическими методами. Они используются для защиты, продувки, покрытия, создания давления, химического осаждения из паровой фазы и т. д. при производстве СБИС.
GB/T 16944-2009 Ссылочный документ
GB 14194-2006 Правила наполнения постоянных газовых баллонов
GB 16912-2008 Технический регламент безопасности кислорода и относительных газов, получаемых криогенным способом