Этот стандарт определяет технические требования, методы проверки, упаковку и маркировку жидкого и газообразного азота, используемого в электронной промышленности. Он применим к азоту, полученному в результате разделения воздуха или восстановления аммиака и используемому для очистки, покрытия и защиты при производстве СБИС. , наддув, а также используется в качестве газа-носителя во время химического осаждения из паровой фазы. Азот химически инертен, негорюч и является удушающим газом. Молекулярная формула: N2. Относительная молекулярная масса: 28,0134 (согласно международной относительной атомной массе 1991 г.).