Этот стандарт определяет требования к золотым мишеням, методы испытаний, правила и знаки проверки, упаковку, транспортировку, хранение и содержание заказа на поставку (или контракта). Настоящий стандарт распространяется на все виды золотых мишеней для напыления (далее - золотые мишени), используемых при производстве полупроводниковых электронных устройств.
GB/T 23611-2009 Ссылочный документ
GB/T 11066.5 Методы химического анализа золота.Определение содержания серебра, меди, железа, свинца, сурьмы и висмута.Атомно-эмиссионная спектрометрия.
GB/T 15077 Методы измерения геометрических размеров драгоценных металлов и материалов из их сплавов.