GB/T 23611-2023
Мишени из золота и золотых сплавов (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 23611-2023

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2023

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 23611-2023

заменять

GB/T 23611-2009

сфера применения

1. Обзор стандарта

Настоящий стандарт (GB/T 23611-2023) был выпущен Государственным управлением по регулированию рынка и Управлением по стандартизации Китая, заменив предыдущий стандарт GB/T 23611-2009. Настоящий стандарт в первую очередь распространяется на классификацию, технические требования и методы испытаний мишеней из золота и золотых сплавов, используемых в полупроводниковых электронных приборах.

2. Сравнение стандартных каркасов

Размеры	Новый стандарт GB/T 23611—2023	Старый стандарт GB/T 23611—2009
Метод классификации	Добавлены разновидности мишеней из сплавов AuGe и AuGeNi; по форме разделены на круглые и прямоугольные; по структуре разделены на одинарные и сварные	Мишени из сплавов AuGe и AuGeNi не включены; классификация относительно проста
Технические требования	Добавлены подробные требования к химическому составу, размеру зерна, качеству сварки и т. д.	В основном устанавливает требования к химическому составу и внешним размерам
Методы испытаний	Добавлены новые методы анализа для мишеней из сплавов AuGe и AuGeNi, а также внедрены более совершенные технологии обнаружения.	Методы испытаний относительно базовые.

3. Рекомендации по внедрению стандарта

3.1 Рекомендации по выбору мишеней

• IC-Au99.99 и IC-Au99.999 подходят для сценариев с высокими требованиями к чистоте, таких как производство высококачественных полупроводников.
• Для применений, требующих высокой термостойкости и стойкости к окислению, рекомендуется выбирать мишени из сплава AuGe.
• Для сложных структурных требований рекомендуется выбирать мишень из сплава AuGeNi

3.2 Ключевые моменты контроля качества

• Испытание химического состава: строго следуйте положениям Таблицы 1 и Таблицы 2, чтобы гарантировать, что содержание примесей соответствует требования
• Контроль размера зерна: рекомендуется использовать метод GB/T 6394, чтобы средний размер зерна не превышал 100 мкм
• Проверка качества сварки: используйте стандарт YS/T 837, чтобы гарантировать, что степень склеивания составляет не менее 95%

3.3 Рекомендации по упаковке и хранению

• Используйте двухслойные антистатические пластиковые пакеты для вакуумной упаковки, чтобы гарантировать отсутствие окисления и физических повреждений продукта
• Среда хранения должна быть чистой и сухой, избегайте высоких температур и высокой влажности
• Используйте профессиональные упаковочные коробки во время транспортировки, чтобы предотвратить столкновения и загрязнение

GB/T 23611-2023 Ссылочный документ

• GB/T 11066.1 Методы химического анализа золота.Определение содержания золота.Пробирный метод.
• GB/T 11066.10 Методы химического анализа золота.Определение содержания кремния.Спектрофотометрия молибденового синего.
• GB/T 11066.11 Методы химического анализа золота. Часть 11. Определение содержания магния, хрома, марганца, железа, никеля, меди, палладия, серебра, олова, сурьмы, свинца и висмута. Масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.
• GB/T 15077 Методы измерения геометрических размеров драгоценных металлов и материалов из их сплавов.
• GB/T 6394 Определение ориентировочного среднего размера зерна металла
• GB/T 8651 Метод дефектоскопии пластинчатой ультразвуковой волной металлических листов
• YS/T 837 Стандартная практика ультразвуковой оценки связи C-сканирования узлов распыляемой мишени с опорной пластиной

GB/T 23611-2023 История

• 2023 GB/T 23611-2023 Мишени из золота и золотых сплавов
• 2009 GB/T 23611-2009 Золотая цель

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации