ASTM E827-08 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии

Стандартный №: ASTM E827-08
Дата публикации: 2008
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
Последняя версия: ASTM E827-08

сфера применения: Оже-анализ используется для определения элементного состава первых нескольких атомных слоев поверхности образца, обычно толщиной от 1 до 5 нм. В сочетании с ионным распылением инертного газа он используется для определения профиля глубины распыления до глубины нескольких микрометров. Образец обычно представляет собой твердый проводник, полупроводник или изолятор. Для изоляторов могут потребоваться средства контроля накопления заряда на поверхности (см. Руководство Е 1523). Типичные области применения включают анализ поверхностных загрязнений, тонких пленок или отдельных слоев на металлических или сплавных подложках. Топография образца может варьироваться от гладкого полированного образца до шероховатой поверхности излома. Оже-анализ образцов с летучими соединениями, которые испаряются в условиях сверхвысокого вакуума камеры Оже, и веществ, чувствительных к повреждению электронами или рентгеновскими лучами, таких как органические соединения, может потребовать специальных методов, не описанных в настоящем документе. (См. Руководство E 983.) 1.1 В данной методике описываются необходимые шаги для идентификации элементов в заданном оже-спектре, полученном с использованием обычных электронных спектрометров. Рассматриваются спектры, отображаемые либо в виде распределения электронов по энергии (прямой спектр), либо в виде первой производной распределения электронов по энергии. 1.2 Данная практика применяется к оже-спектрам, генерируемым электронной или рентгеновской бомбардировкой поверхности образца, и может быть распространена на спектры, генерируемые другими методами, например, ионной бомбардировкой. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM E827-08 Ссылочный документ

ASTM E1523 Стандартное руководство по методам контроля заряда и привязки заряда в рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
ASTM E983 Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
ASTM E984 Стандартное руководство по идентификации химических эффектов и матричных эффектов в электронной оже-спектроскопии

ASTM E827-08 История

2008 ASTM E827-08 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии
2007 ASTM E827-07 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии
2002 ASTM E827-02 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии
1995 ASTM E827-95 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии