1.1 В этом руководстве описываются причины и проявления нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии (AES). 1.2 Приводятся некоторые общие рекомендации относительно параметров электронного пучка, которые с наибольшей вероятностью могут вызвать подобные эффекты. 1.3 Определены общие классы материалов, которые с наибольшей вероятностью будут проявлять нежелательные эффекты электронного луча. Кроме того, представлена таблица некоторых конкретных материалов, которые, как наблюдалось, подвергались воздействию электронного повреждения. 1.4 Описан простой метод установления существования и степени этих эффектов во время обычного анализа AES. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E983-94(1999) История
2019ASTM E983-19 Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
2018ASTM E983-10(2018) Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
2010ASTM E983-10 Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
2005ASTM E983-05 Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии
1994ASTM E983-94(1999) Стандартное руководство по минимизации нежелательных эффектов электронного пучка в электронной оже-спектроскопии