1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение растворенных органических и неорганических веществ, а также коллоидных веществ, содержащихся в воде высокой чистоты, используемой в полупроводниковой, аэрокосмической и других отраслях промышленности. Этот материал называется остатком после испарения (RAE). Диапазон метода испытаний составляет от 0,1 мкг/л (частей на миллиард) до 20 мг/л (частей на миллион). 1.2 В этом методе испытаний используется метод непрерывного мониторинга в реальном времени для измерения концентрации RAE. Проба воды высокой чистоты под давлением подается в аппаратуру метода испытаний непрерывно через сверхчистые фитинги и трубки. Таким образом, предотвращается попадание загрязняющих веществ из атмосферы в пробу. Опубликованы общая информация о методе испытаний и обзор литературы по непрерывному измерению RAE. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Информация о конкретных опасностях приведена в разделе 8.
ASTM D5544-94(1999)e1 История
2016ASTM D5544-16 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
2011ASTM D5544-11 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
2005ASTM D5544-05 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
1994ASTM D5544-94(2004) Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
1994ASTM D5544-94(1999)e1 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты