Даже так называемая вода высокой чистоты будет содержать примеси. Хотя эти загрязняющие вещества не всегда присутствуют, они могут способствовать одному или нескольким из следующих веществ: растворенные активные ионные вещества, такие как кальций, магний, натрий, калий, марганец, аммоний, бикарбонаты, сульфаты, нитраты, ионы хлорида и фтора, ионы железа и двухвалентного железа, и силикаты; растворенные органические вещества, такие как пестициды, гербициды, пластификаторы, мономеры стирола, материал деионизационной смолы; и коллоидные суспензии, такие как диоксид кремния. Хотя этот метод испытаний облегчает мониторинг этих загрязнений в воде высокой чистоты в режиме реального времени с помощью одного прибора, этот метод испытаний не способен идентифицировать различные источники остаточного загрязнения или обнаружить растворенные газы или взвешенные частицы. Этот метод испытаний калибруется с использованием взвешенного количества искусственного загрязнителя (хлорида калия). Плотность хлорида калия вполне типична для примесей, обнаруженных в воде высокой чистоты; однако реакция этого метода испытаний явно основана на реакции на хлорид калия. Реакция на фактические загрязнения, обнаруженные в воде высокой чистоты, может отличаться от калибровки метода испытаний. В этом отношении этот метод испытаний не отличается от многих других аналитических методов испытаний. Вместе с другими методами мониторинга этот метод испытаний полезен для диагностики источников РАЭ в системах сверхчистой воды. В частности, этот метод испытаний можно использовать для обнаружения утечек, таких как прорыв коллоидного кремнезема из стоков первичного аниона или деионизатора смешанного слоя. Кроме того, этот метод испытаний использовался для измерения времени промывки новых фильтров для жидкости и был адаптирован для отбора проб периодического типа (эта адаптация не описана в данном методе испытаний). Получение немедленных признаков загрязнения в воде высокой чистоты имеет важное значение для тех отраслей, где вода высокой чистоты используется для производства компонентов; производство может быть немедленно остановлено для устранения проблемы загрязнения. Эта информация также будет полезна биомедицинской и энергетической промышленности. 1.1 Этот метод испытаний охватывает определение растворенных органических и неорганических веществ, а также коллоидных веществ, обнаруженных в воде высокой чистоты, используемой в полупроводниковой, аэрокосмической и других отраслях промышленности. Этот материал называется остатком после испарения (RAE). Диапазон метода испытаний составляет от 0,1 г/л (частей на миллиард) до 20 мг/л (частей на миллион). 1.2 В этом методе испытаний используется метод непрерывного мониторинга в реальном времени для измерения концентрации RAE. Проба воды высокой чистоты под давлением подается в аппаратуру метода испытаний непрерывно через сверхчистые фитинги и трубки. Таким образом, предотвращается попадание загрязняющих веществ из атмосферы в пробу. Опубликованы общая информация о методе испытаний и обзор литературы по непрерывному измерению RAE. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Информация о конкретных опасностях приведена в разделе 8.
ASTM D5544-05 История
2016ASTM D5544-16 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
2011ASTM D5544-11 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
2005ASTM D5544-05 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
1994ASTM D5544-94(2004) Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
1994ASTM D5544-94(1999)e1 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты