ASTM E684-04
Стандартная практика приближенного определения плотности тока ионных пучков большого диаметра для профилирования глубины распыления твердых поверхностей
- Стандартный №
- ASTM E684-04
- Дата публикации
- 2004
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2012-01
- Последняя версия
- ASTM E684-04
- заменить на
- E1577
- сфера применения
- Профилирование глубины распыления используется в сочетании с электронной оже-спектроскопией, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопией, спектроскопией рассеяния ионов и масс-спектрометрией вторичных ионов для определения химического состава и концентрации атомов в зависимости от расстояния от поверхности образца. См. Руководство E 1127. Необходимо указать диаметр ионного луча, используемого для распыления, и этот метод является относительно быстрым методом измерения формы (то есть распределения плотности тока) ионного луча, если подходящая чашка Фарадея недоступна. 3 1.1 В данной методике описан простой и приближенный метод определения формы и плотности тока ионных пучков. Практика ограничивается ионными пучками диаметром более 0,5 мм, которые используются для распыления твердых поверхностей для получения профилей глубины распыления. Предполагается, что плотность тока ионного пучка симметрична относительно оси пучка. 1.2 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E684-04 Ссылочный документ
- ASTM E1127 Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
- ASTM E1577 Стандартное руководство по составлению отчетов о параметрах ионного пучка, используемых при анализе поверхности
- ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
ASTM E684-04 История
- 2004 ASTM E684-04 Стандартная практика приближенного определения плотности тока ионных пучков большого диаметра для профилирования глубины распыления твердых поверхностей
- 1995 ASTM E684-95(2000) Стандартная практика приближенного определения плотности тока ионных пучков большого диаметра для профилирования глубины распыления твердых поверхностей
