ISO 16129:2018
Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Процедуры оценки повседневной работы рентгеновского фотоэлектронного спектрометра.

Стандартный №

ISO 16129:2018

Дата публикации

2018

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 16129:2018

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

Параметры оценки	Методы испытаний	Ключевые параметры	Диапазон допусков
Вакуумная система	Контроль давления	Базовое значение давления	±20% контрольного значения
Испытание проводящего образца	Спектр серебряной фольги Ag 3d5/2	Пиковая интенсивность/полная ширина на полувысоте/положение	±0,1-0,5 эВ
Испытание непроводящего образца	Спектр C 1s ПЭТ или фильтровальной бумаги	Эффект компенсации заряда	Сдвиг пика ≤0,2 эВ

---

Ключевые моменты технической реализации

Стандартная рабочая процедура для проводящих образцов

Примечание при использовании серебряной фольги в качестве стандартного образца:

1. Параметры ионной очистки: энергия 3 кэВ, плотность потока 20 А·с/м²
2. Широкий диапазон спектра сканирования: от -10 эВ до энергии рентгеновского излучения +50 эВ
3. Ag 3d_5/2 спектр высокого разрешения, шаг шага ≤0,05 эВ

---

Диагностика ухудшения производительности прибора

---

Эволюция стандарта и предыстория

Основные изменения издания 2018 года:

• Новые спецификации испытаний для непроводящих образцов (первоначально только проводящих образцов)
• Уточнение метода оценки источника рентгеновского излучения
• Внедрение количественного анализа контрольных карт

---

Рекомендации по внедрению в лабораторию

План ежедневного технического обслуживания

1. Базовая проверка: запись индикатора уровня/состояния вакуума Ежедневно
2. Быстрый тест: выполнение теста проводящего образца Еженедельно
3. Полная проверка: выполнение теста непроводящего образца + оценка источника рентгеновского излучения Ежеквартально

Стандарты управления данными

Рекомендуется создать электронный журнал, включающий следующие элементы:

• Файлы необработанных спектральных данных
• Записи обновления контрольной карты
• Меры обработки исключений

ISO 16129:2018 Ссылочный документ

• ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление

ISO 16129:2018 История

• 2018 ISO 16129:2018 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Процедуры оценки повседневной работы рентгеновского фотоэлектронного спектрометра.
• 2012 ISO 16129:2012 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Процедуры оценки повседневной работы рентгеновского фотоэлектронного спектрометра.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации