General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 36969-2018
сфера применения
В настоящем стандарте определены принципы, условия испытаний, оборудование, образцы, процедуры испытаний и обработка данных для измерения толщины нанопленок с использованием атомно-силовой микроскопии (АСМ). Настоящий стандарт распространяется на пленки неорганических материалов с однородной и плоской поверхностью и толщиной в нанометровом диапазоне. Измерение толщины более толстых пленок и некоторых органических пленок также может быть проведено в справочных целях.
GB/T 36969-2018 Ссылочный документ
GB/T 31227 Метод контроля шероховатости поверхности атомно-силовым микроскопом напыленных тонких пленок
JJF 1059.1-2012 Оценка и выражение неопределенности измерений
GB/T 36969-2018 История
2018GB/T 36969-2018 Нанотехнология — метод измерения толщины нанопленки с помощью атомно-силовой микроскопии.