GSO ISO 19606:2021 Тонкая керамика (усовершенствованная керамика, усовершенствованная техническая керамика). Метод определения шероховатости поверхности тонких керамических пленок методом атомно-силовой микроскопии.
В стандарте ISO 19606:2017 описан метод оценки пригодности наконечника зонда для измерения шероховатости поверхности тонкой керамической тонкой пленки с помощью атомно-силовой микроскопии поверхностей со средней арифметической шероховатостью Ra в диапазоне от примерно 1 до 30 нм. и среднюю ширину элементов профиля шероховатости RSm в диапазоне примерно от 0,04 мкм до 2,5 мкм.
GSO ISO 19606:2021 История
2021GSO ISO 19606:2021 Тонкая керамика (усовершенствованная керамика, усовершенствованная техническая керамика). Метод определения шероховатости поверхности тонких керамических пленок методом атомно-силовой микроскопии.