EN ISO 25178-603:2025 Геометрические характеристики изделий (ГПИ) - Текстура поверхности: Объемная - Часть 603: Проектирование и характеристики несоприкасающихся (интерферометрии с сдвигом фазы) приборов (ISO 25178-603:2025)
Настоящий документ определяет конструктивные и метрологические характеристики приборов для фазового сдвигающего интерферометра (PSI) для измерения рельефа поверхности в объеме. Поскольку профили поверхностей могут быть извлечены из данных объемного рельефа поверхности, методы, описанные в настоящем документе, также применимы для измерений профиля.
EN ISO 25178-603:2025 История
2025EN ISO 25178-603:2025 Геометрические характеристики изделий (ГПИ) - Текстура поверхности: Объемная - Часть 603: Проектирование и характеристики несоприкасающихся (интерферометрии с сдвигом фазы) приборов (ISO 25178-603:2025)
2013EN ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрическая микроскопия с фазовым сдвигом)
2009EN ISO 25178-603:2009 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия)