GB/T 20724-2021 (Англоязычная версия) Микролучевой анализ - метод измерения толщины тонких кристаллов методом дифракции электронов сходящимся пучком.

сфера применения: В этом документе описан метод дифракции электронов сходящимся пучком для определения толщины тонких кристаллических образцов с помощью просвечивающей электронной микроскопии/сканирующей просвечивающей электронной микроскопии. Настоящий документ применим для определения толщины тонких кристаллических образцов с линейным размером от десятков нанометров до сотен микрон и толщиной от десятков нанометров до сотен нанометров. Примечание. Поскольку толщина тонких образцов в просвечивающей электронной микроскопии часто неоднородна, локальную толщину образца, освещенного электронным пучком, измеряют методом дифракции сходящегося пучка.

GB/T 20724-2021 Ссылочный документ

GB/T 18907-2013 Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Электронографический анализ выбранной области с использованием просвечивающего электронного микроскопа.
GB/T 27418-2017 Руководство по оценке и выражению неопределенности измерений
ISO 15932:2013 Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Словарь.

2021 GB/T 20724-2021 Микролучевой анализ - метод измерения толщины тонких кристаллов методом дифракции электронов сходящимся пучком.
2006 GB/T 20724-2006 Метод измерения толщины тонкого кристалла методом дифракции сходящегося пучка электронов