В этом документе указаны термины и определения, технические требования, методы испытаний, спецификации контроля, маркировка, упаковка, транспортировка, хранение и т. д. вращающихся кремниевых мишеней. Технические требования включают основные требования, материалы, химический состав, физические свойства, физические характеристики, качество внешнего вида, внутренние дефекты, форму вращающегося кристалла кремниевой мишени, степень перекрытия, качество поверхности и материалы футеровки. Методы испытаний включают методы арбитражного анализа химического состава, методы проверки физических характеристик и методы измерения физических характеристик, качества внешнего вида, внутренних дефектов, морфологии кристаллов, размера зерна, степени перекрытия, округлости и соосности. Правила проверки включают проверку и приемку, комплектацию партий, объекты проверки, арбитражную выборку и подготовку проб, а также оценку результатов проверки.