Документ определяет метод оценки четкости изображений, полученных с использованием сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) для целей микроаналитики. Предложенный подход позволяет объективно оценивать качество изображения и сравнивать его характеристики между различными СЭМ или при различных условиях эксплуатации одного и того же микроскопа. Метод применим как к новым системам, так и к уже существующим установкам для повышения их производительности.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.
XP ISO/TS 24597:2011 История
2011XP ISO/TS 24597:2011 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Методы оценки резкости изображения.