В этом стандарте указаны термины и определения, технические требования и характеристики процесса анодного окисления для деталей и компонентов полупроводникового оборудования. Настоящий стандарт распространяется на процесс анодирования компонентов полупроводникового оборудования.
T/QGCML 743-2023 История
2023T/QGCML 743-2023 Технические условия на процесс анодирования деталей полупроводникового оборудования