T/ICMTIA 5.1-2020
ArF Сухой фоторезист для интегральных схем (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/ICMTIA 5.1-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/ICMTIA 5.1-2020

---

сфера применения

В этом документе указаны требования, методы испытаний, стандарты обнаружения, а также требования к упаковке, транспортировке и хранению сухого фоторезиста ArF.

T/ICMTIA 5.1-2020 История

• 2020 T/ICMTIA 5.1-2020 ArF Сухой фоторезист для интегральных схем

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации