T/CPCIF 0334-2024
Газы для электронной промышленности — Смесь фтора и азота. (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CPCIF 0334-2024

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2024

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CPCIF 0334-2024

---

сфера применения

Позиция Содержание фтора (F2) (объемная доля)/10-2 Содержание азота (N2) (объемная доля)/10-2 Содержание кислорода (O2) (объемная доля)/10-6 Содержание тетрафторида углерода (CF4) (объемная доля) /10-6 Содержание гексафторида серы (SF6) (объемная доля)/10-6 Содержание угарного газа (CO) (объемная доля)/10-6 Содержание диоксида углерода (CO2) (объемная доля)/10-6 Фтороводород ( HF) ) содержание (объемная доля)/10-6

T/CPCIF 0334-2024 История

• 2024 T/CPCIF 0334-2024 Газы для электронной промышленности — Смесь фтора и азота.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации