DIN 50450-9:2021
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение примесей в газах-носителях и легирующих газах. Часть 9. Определение кислорода, азота, монооксида углерода, диоксида углерода, водорода и C<(Индекс)1>
——C<(Индекс)3>
——углеводородов. ..