DIN 50450-9 E:2020-11
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение примесей в газах-носителях и легирующих газах. Часть 9. Определение кислорода, азота, оксида углерода, диоксида углерода, водорода и CC-углеводородов в газообразном гидриде.