GB/T 33826-2017
Измерение толщины нанопленки на стеклянной подложке — профилометрический метод. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 33826-2017
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2017
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 33826-2017
- сфера применения
-
1. Предпосылки разработки стандартов и анализа технологического развития
С быстрым развитием нанотехнологий нанесение нанопленок на стеклянные подложки становится все более распространенным. Для обеспечения точности и согласованности измерений толщины пленки был разработан стандарт GB/T 33826-2017 «Метод измерения толщины нанопленок на стеклянных подложках с помощью щупового профилометра». Этот стандарт был предложен Китайской академией наук и разработан несколькими авторитетными организациями, включая Китайский научно-исследовательский институт строительных материалов и Zhangzhou Kibing Glass Co., Ltd.
Будучи высокоточным инструментом для измерения поверхности, щуповый профилометр постепенно стал отраслевым стандартом для нанесения нанопленок. Разработка этого стандарта не только заполняет пробел в соответствующей области внутри страны, но и обеспечивает единую техническую базу для международного технического обмена.
2. Сравнительный анализ стандартных рамок
Стандартные размеры Метод профилометра со щупом Другие методы (например, оптическое измерение) Диапазон измерений Толщина пленки: $10~\mathrm{нм} \sim 1000~\mathrm{нм}$
Вертикальное разрешение: $0.1~\mathrm{нм} \sim 0.6~\mathrm{нм}$Ограничено пределом оптической дифракции, обычно применимо к более толстым пленкам ($\geq 100~\mathrm{нм}$) Требования к оборудованию Профилометр со щупом, стандартные образцы, калибровочные инструменты Оптический микроскоп, интерферометр и т. д. Применимые сценарии Стеклянные подложки и аналогичные твердые плоские подложки Прозрачные или полупрозрачные пленки 3. Рекомендации по внедрению и практические примеры
Рекомендации по внедрению:
- При выборе щупового профилометра убедитесь, что его вертикальное разрешение соответствует требованиям к измерению толщины пленки.
- Подготовьте этап в строгом соответствии со стандартными требованиями, чтобы избежать ошибок измерения из-за неправильной подготовки образцов.
- Регулярно калибруйте прибор и проверяйте точность измерений с помощью стандартных образцов.
GB/T 33826-2017 Ссылочный документ
- GB/T 29505 Метод испытаний для измерения шероховатости плоских поверхностей кремниевой пластины
GB/T 33826-2017 История
- 2017 GB/T 33826-2017 Измерение толщины нанопленки на стеклянной подложке — профилометрический метод.
