GB/T 2900.104-2021
Электротехническая терминология. Микроэлектромеханические устройства. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 2900.104-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 2900.104-2021

сфера применения

Обзор стандарта

GB/T2900.104-2021, как 104-я часть серии стандартов по электротехнической терминологии, эквивалентен международному стандарту IEC60050523:2018 и систематически определяет 526 профессиональных терминов в области микроэлектромеханических устройств. Стандартное содержание охватывает 8 основных технических областей, задействованных во всем жизненном цикле устройств MEMS:

Технические области	Количество терминов	Основное содержание
Общие термины	3	Базовые понятия, техническая классификация
Наука и техника	6	Масштабный эффект, микротрибология
Материаловедение	21	Механические параметры, свойства тонких пленок
Функциональные элементы	25	Типы датчиков и исполнительных механизмов

---

Интерпретация ключевых технологий

1. Определение технологии микросистем

Стандарт четко определяет MEMS-устройства (5230.10.1) как микроустройства, интегрирующие датчики, исполнительные механизмы и механические компоненты. Его технические характеристики включают:

• Значительный размерный эффект (поверхностная сила > объемная сила)
• Точность обработки требует субмикронного уровня
• Междисциплинарная интеграция

2. Технология базовой обработки

В стандарте подробно описаны 12 технологий микрообработки, среди которых сравниваются ключевые процессы:

Тип процесса	Разрешение	Типичные области применения
Процесс LIGA(5230.50.6)	1-10 мкм	Структуры с высоким соотношением сторон
Глубокое реактивное ионное травление(5230.51.3)	Нанометровый масштаб	Вертикальная обработка боковых стенок

---

Рекомендации по внедрению

1. Стандартные сценарии применения

• Исследования и разработки продукта: унификация терминологии технического документа MEMS
• Испытания и сертификация: стандартизация выражения параметра испытания (например, 5230.30.7 Диапазон смещения)
• Международная торговля: полная интеграция с терминологией стандарта IEC

2. Предложения по развитию технологий

Сосредоточьтесь на новых определенных технологиях интеграции в стандарте, таких как CMOS-MEMS (5230.42.5). Его особенности включают:

1. Схемы обработки сигналов и компоненты МЭМС интегрированы на одной подложке
2. Используется КМОП-совместимый процесс
3. Типичная температура обработки <400°C

GB/T 2900.104-2021 История

• 2021 GB/T 2900.104-2021 Электротехническая терминология. Микроэлектромеханические устройства.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации

GB/T 2900.104-2021 - Все части