Настоящий международный стандарт определяет термины для химического анализа поверхности. ISO 18115-1 охватывает общие термины и термины, используемые в спектроскопии, а данная часть ISO 18115 охватывает термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.
GSO ISO 18115-2:2013 История
2013GSO ISO 18115-2:2013 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.