Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний, правила контроля и маркировку продукции, упаковку, хранение, транспортировку и требования безопасности для газообразного оксисульфида углерода, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на газообразный оксисульфид углерода, используемый в электронной промышленности, полученный путем очистки от промышленного оксисульфида углерода в качестве сырья. Газ оксисульфид углерода, используемый в электронной промышленности, в основном используется в области интегральных схем. Молекулярная формула: COS. Относительная молекулярная масса: 60,07 (согласно международной относительной атомной массе 2011 г.).