Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, хранение и транспортировку, а также требования к информации по безопасности для трифториодметана. Настоящий стандарт распространяется на трифториодметановую продукцию, изготовленную из трифториодметана промышленного качества в качестве сырья и очищенную перегонкой. Этот продукт в основном используется для очистки камер обработки осаждения из паровой фазы полупроводников или плазменного травления.