Настоящий стандарт определяет термины и определения, модели продукции, требования, методы контроля, правила контроля, требования к маркировке, упаковке, транспортировке и хранению для оптических детекторов дефектов полупроводниковых пластин.
T/CZSBDTHYXH 001-2023 История
2023T/CZSBDTHYXH 001-2023 Дефекты пластин Автоматическое оборудование для оптического контроля