Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки оборудования для очистки воды при производстве компонентов в электронной промышленности. Настоящий стандарт применим к оборудованию для производства воды электронного качества, используемому в электронных компонентах, производстве интегральных схем и процессах очистки на предприятиях электронной промышленности.
SJ/T 31452-1994 История
1970SJ/T 31452-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки водоочистного оборудования