GB/T 38614-2020
Метод измерения для нанопозиционирования и столика сканирования на основе гибкого шарнирного механизма и пьезоактюатора (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 38614-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

Последняя версия

GB/T 38614-2020

сфера применения

Настоящий стандарт определяет условия измерения, систему измерения и методы измерения платформы нанопозиционирования и сканирования (далее - платформа) на основе гибкого шарнирного механизма и пьезоэлектрического керамического привода. Этот стандарт применяется к исследованиям, проектированию, производству, тестированию и использованию платформы.

GB/T 38614-2020 Ссылочный документ

• GB/T 11336 Измерение отклонений от прямолинейности
• GB/T 38616-2020 Терминология для этапа нанопозиционирования и сканирования

GB/T 38614-2020 История

• 2020 GB/T 38614-2020 Метод измерения для нанопозиционирования и столика сканирования на основе гибкого шарнирного механизма и пьезоактюатора