Этот стандарт определяет определение термина «платформа нанопозиционирования и сканирования» (далее «платформа»). Настоящий стандарт применяется к определению параметров продукции для платформ нанопозиционирования и сканирования. 2 Общие условия
GB/T 38616-2020 История
2020GB/T 38616-2020 Терминология для этапа нанопозиционирования и сканирования