ISO 23729:2022
Химический анализ поверхности. Атомно-силовая микроскопия. Руководство по процедуре восстановления изображений атомно-силовой микроскопии, расширенных зондом конечного размера.

Стандартный №

ISO 23729:2022

Дата публикации

2022

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 23729:2022

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

ISO 23729:2022 устанавливает систематическую структуру восстановления искажений изображения, вызванных ограниченным размером зонда атомно-силовой микроскопии (АСМ). Основанный на математической теории морфологии, стандарт обеспечивает точную реконструкцию трёхмерного рельефа с помощью вычислительной модели расширения-эрозии.

---

Ключевые технические моменты

1. Математическое морфологическое моделирование

Для описания влияния формы зонда на визуализацию в стандарте используется формула I = S ⊕ P, где:

• I — измеренная функция изображения
• S — истинная функция морфологии поверхности
• P — функция формы отражения зонда

Процесс реконструкции достигается посредством операции коррозии S_r = I ⊖ P. В стандарте особо подчеркивается существование нереконструируемых областей (как показано на рисунке 1).

---

Сравнение методов характеризации зондов

Тип метода	Эталонный материал	Точность	Применимые сценарии
Метод сертифицированного эталонного материала	Структура наносферы/проволочной сетки	±1 нм	Известные особенности формы
Метод слепой реконструкции	Пористый оксид алюминия	±3 нм	Неизвестная сложная поверхность

---

Ключевые моменты для внедрения стандарта

1. Калибровка системы: Пьезоэлектрический сканер оси XYZ необходимо регулярно калибровать (согласно ISO 11952).
2. Контроль окружающей среды: Колебание температуры должно быть ≤1°C (пункт 6.3).
3. Характеристика зонда: Радиус кривизны R должен быть проверен с помощью FE-SEM (Приложение B).
4. Проверка сохранения высоты: Отклонение высоты наноострия до и после реконструкции должно составлять <0,5%

---

Анализ развития технологий

По сравнению с предыдущим стандартом ISO 13095:2014, нововведения этого стандарта включают в себя:

• Введение Итеративный алгоритм слепой реконструкции (Формулы 8–10)
• Добавление пористого оксида алюминия в качестве стандартного эталонного материала
• Создание процесса межлабораторного сравнения и проверки VAMAS

ISO 23729:2022 Ссылочный документ

• ISO 11775 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение констант нормальной пружины кантилевера.
• ISO 11952 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение геометрических величин с помощью СЗМ. Калибровка измерительных систем.
• ISO 18115-2 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.

ISO 23729:2022 История

• 2022 ISO 23729:2022 Химический анализ поверхности. Атомно-силовая микроскопия. Руководство по процедуре восстановления изображений атомно-силовой микроскопии, расширенных зондом конечного размера.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации