ISO 25498:2018
Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Электронографический анализ выбранной области с использованием просвечивающего электронного микроскопа.

Стандартный №

ISO 25498:2018

Дата публикации

2018

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

состояние

быть заменен

быть заменен

ISO 25498:2025

Последняя версия

ISO 25498:2025

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

Основные принципы дифракции

Согласно главе 4 стандарта, при проникновении пучка электронов высокой энергии в кристаллический образец в просвечивающем электронном микроскопе в задней фокальной плоскости объектива формируется дифракционная картина. Монокристаллические образцы демонстрируют регулярный массив точек (рисунок 1), в то время как поликристаллические образцы формируют концентрические дифракционные кольца (рисунок 4). Соотношение между вектором дифракции R_hkl и межплоскостным расстоянием d_hkl определяется формулой (3):

R_hkl·d_hkl ≅ Lλ

Где Lλ — постоянная камеры, ее необходимо откалибровать с помощью стандартного образца с известными параметрами решетки (например, золота или алюминия).

---

Ключевой экспериментальный процесс

Шаги	Рабочие точки	Технические параметры
Подготовка прибора (8.1)	Калибровка предметного столика с двойным наклоном, защита от загрязнения холодным пальцем	Стабильность ускоряющего напряжения ≤10-5
Требования к образцу (глава 7)	Толщина <100 нм, чистый и без оксидного слоя	Выбранный предел апертуры области ≥200 нм
Получение дифракционной картины (8.2)	Концентрическая регулировка высоты, выравнивание с помощью линии Кикучи	Длина камеры: 500–2000 мм

Пример применения

Образец нержавеющей стали 304 был проанализирован методом SAED. Сравнение дифракционных картин двух кристаллографических осей [011] (рисунок B.2) и [113] (рисунок B.9) подтвердило его ГЦК-структуру, а измеренное значение постоянной решетки составило a = 0,359 ± 0,003 нм.

---

Технологическое развитие и обновление стандартов

По сравнению с изданием 2010 года основные изменения в издании 2018 года включают в себя:

• Семь новых определений терминов (3.1–3.14)
• Удалена диаграмма построения сферы Эвальда
• Улучшен процесс калибровки поликристаллического стандарта (глава 5)
• Добавлен специальный раствор для обработки дифракции нанокристаллов (9.2.5)

Рекомендации по внедрению

Управление неопределенностью:Согласно главе 11, постоянная ошибка камеры в основном возникает из-за изменения фокусного расстояния объектива (Δf_o/f_o). Рекомендуется:

1. Калибровать Lλ с помощью стандартов Au до и после каждого эксперимента
2. Сохранять постоянную высоту образца (концентрическое положение)
3. Измерять среднее значение шести диаметров радиальных дифракционных колец

Формула расчета полной неопределенности: u = √(s_cc² + s_d² + s_m²)

ISO 25498:2018 Ссылочный документ

• ISO/IEC 17025 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий [Стандарт на французском языке]

ISO 25498:2018 История

• 2025 ISO 25498:2025 Микролучевой анализ — Аналитическая электронная микроскопия — Анализ электронной дифракции выбранной области с использованием просвечивающего электронного микроскопа
• 2018 ISO 25498:2018 Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Электронографический анализ выбранной области с использованием просвечивающего электронного микроскопа.
• 2010 ISO 25498:2010 Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Электронографический анализ выбранных участков с использованием просвечивающего электронного микроскопа.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации