UNI ISO 21360-4:2020 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы.
2020UNI ISO 21360-4:2020 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы.