PNS ISO 14644-12:2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Технические требования к контролю чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц.
2021PNS ISO 14644-12:2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Технические требования к контролю чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц.