DIN EN ISO 14644-17:2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 17. Применение скорости осаждения частиц (ISO 14644-17:2021); Немецкая версия EN ISO 14644-17:2021
Этот документ дает указания по интерпретации и применению результатов измерения скорости осаждения частиц на одной или нескольких уязвимых поверхностях в чистом помещении в рамках программы контроля загрязнения. В нем содержатся некоторые инструкции о том, как повлиять на
DIN EN ISO 14644-17:2021 История
2021DIN EN ISO 14644-17:2021 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 17. Применение скорости осаждения частиц (ISO 14644-17:2021); Немецкая версия EN ISO 14644-17:2021
2019DIN EN ISO 14644-17:2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 17. Применение скорости осаждения частиц (ISO/DIS 14644-17:2019); Немецкая и английская версия prEN ISO 14644-17:2019.