Настоящий стандарт определяет метод определения металлических элементов серебра, золота, кальция, меди, железа, калия и натрия в азотной кислоте с использованием атомно-абсорбционной спектрометрии (ААС). Настоящий стандарт применим для определения микроэлементов в азотной кислоте (HNO), используемой в электронной промышленности. В этом стандарте содержание ионов микроэлементов серебра, золота, кальция, меди, железа, калия и натрия в азотной кислоте (HNO) составляет от 0,1 мг/л до 1 мг/л, что подходит для пламенного метода (FL- AAS); Содержание составляет от 0,1 мкг/л до 100 мкг/л, и подходит для использования беспламенного (графитовая печь) атомно-абсорбционного метода (GF-AAS). При применении настоящего стандарта для определения азотной кислоты (HNO), используемой в электронной промышленности, атомно-абсорбционный прибор следует размещать в более подходящей рабочей среде; для определения содержания элемента ниже 100 мкг/л рекомендуется не уровень чистоты ниже 100 000, указанный в помещении GB 50472. Настоящий стандарт не затрагивает вопросы безопасности.Пользователи настоящего стандарта несут ответственность за установление соответствующих положений по безопасности и охране здоровья, а также ограничений области использования.
SJ/T 11556-2015 Ссылочный документ
GB 50472 Правила проектирования чистых помещений электронной промышленности