ISO 21360-4:2018
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы.

Стандартный №

ISO 21360-4:2018

Дата публикации

2018

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 21360-4:2018

сфера применения

Этот документ совместно со стандартом ISO 21360-1 определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов. Применимо ко всем размерам и типам турбомолекулярных вакуумных насосов, в том числе — с механическими или магнитными подшипниками; 　——с дополнительной ступенью(ами) сопротивления или другими ступенями перекачки на валу или без них; 　——с одним или несколькими входными портами. Поскольку турбомолекулярные вакуумные насосы дополняются первичными насосами, их производительность не может быть полностью определена кривой объемного расхода. Кроме того, для производительности важны приводное устройство и поддерживающее давление турбомолекулярного вакуумного насоса. Дополняют эксплуатационные характеристики: 　——сведения о производительности и давлении турбомолекулярного вакуумного насоса; 　——кривая степени сжатия (степень сжатия в зависимости от давления турбомолекулярного вакуумного насоса).

ISO 21360-4:2018 Ссылочный документ

• ISO 21360-1:2012 Вакуумная техника. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 1. Общее описание.

ISO 21360-4:2018 История

• 2018 ISO 21360-4:2018 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения производительности вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы.