Предметом настоящего руководства VDI являются углеродные пленки, наносимые методом вакуумного осаждения (PVD или CVD). Эти современные системы покрытий состоят из чрезвычайно твердых алмазных пленок на одном конце шкалы, проходят через широкий спектр пленок преимущественно гидрогенизированного аморфного углерода, а затем достигают пленок мягкого графита на другом конце. Это руководство преследует две цели: во-первых, оно должно обеспечить единую классификацию и номенклатуру углеродных пленок; во-вторых, это должно позволить потенциальному пользователю заготовок с покрытием сделать предварительный выбор подходящих типов углеродной пленки. По сути, данное руководство касается тех покрытий, которые производятся в промышленных масштабах. Это означает, что мы должны, например, исключить пленки aC:X и ta-C:X (X = Si, O, F, N, B и т. д.), которые еще находятся в стадии промышленной разработки или которые в настоящее время имеют лишь очень ограниченное количество. приложение.
DIN 50431:1988 Испытание полупроводниковых материалов; измерение удельного сопротивления монокристаллов кремния или германия четырехзондовым методом постоянного тока с коллинеарной матрицей
DIN EN ISO 14577-1:2003 Металлические материалы. Инструментальное испытание на твердость и параметры материалов вдавливанием. Часть 1. Метод испытаний (ISO 14577-1:2002); Немецкая версия EN ISO 14577-1:2002.
DIN EN ISO 1463:2004 Металлические и оксидные покрытия. Измерение толщины покрытия. Микроскопический метод (ISO 1463:2003); Немецкая версия EN ISO 1463:2004.
DIN EN ISO 2064:2000 Металлические и другие неорганические покрытия. Определения и соглашения, касающиеся измерения толщины (ISO 2064:1996); Немецкая версия EN ISO 2064:2000.
DIN EN ISO 3497:2001 Металлические покрытия. Измерение толщины покрытия. Рентгеновские спектрометрические методы (ISO 3497:2000); Немецкая версия EN ISO 3497:2000.
DIN EN ISO 3543:2001 Металлические и неметаллические покрытия. Измерение толщины. Метод обратного бета-рассеяния (ISO 3543:2000); Немецкая версия EN ISO 3543:2000.
DIN EN ISO 3882:2003 Металлические и другие неорганические покрытия. Обзор методов измерения толщины (ISO 3882:2003); Немецкая версия EN ISO 3882:2003.
DIN EN ISO 4288:1998 Геометрические спецификации продукции (GPS). Текстура поверхности: метод профиля. Правила и процедуры оценки текстуры поверхности (ISO 4288:1996); Немецкая версия EN ISO 4288:1997.
DIN ISO 513:2005 Классификация и применение твердорежущих материалов для снятия металла с определенными режущими кромками. Обозначение основных групп и групп применения (ISO 513:2004);Английская версия DIN ISO 513:2005.