Среды высокой/сверхвысокой чистоты (HP-/UHP-) (химикаты и газы) все чаще используются во многих производственных целях. Цель состоит в том, чтобы поддерживать уровень чистоты между точкой поставки (POS) и точкой ввоза (POE) или, соответственно, допускать снижение чистоты только в определенных определенных зонах, где это допустимо. Целью настоящего Руководства является обобщение знаний, касающихся проектирования, изготовления, эксплуатации и мониторинга систем подачи носителей HP/UHP. Под чистотой подразумеваются остаточные загрязнения, такие как частицы, катионы, анионы, TOC и другие специфические параметры (посторонние газы, влажность и т. д.). Информация об условиях требований к чистоте не предоставляется, поскольку они должны определяться соответствующим пользователем в соответствии с предполагаемым использованием.
VDI 2083 Blatt 10-1998 Ссылочный документ
DIN 2403:1984 Идентификация трубопроводов в зависимости от транспортируемой жидкости
VDI 2083 Blatt 10-1998 Технология чистых помещений — системы подачи сред высокой/сверхвысокой чистоты (HP-/UHP-) было изменено на VDI 2083 Blatt 7-2015 Технологии чистых помещений - Сверхчистые среды - Качество, поставка, дистрибуция.