DIN 50989-1:2018
Эллипсометрия. Часть 1: Принципы; Текст на немецком и английском языках

Стандартный №

DIN 50989-1:2018

Дата публикации

2018

Разместил

German Institute for Standardization

Последняя версия

DIN 50989-1:2018

заменять

DIN 50989-1:2017

сфера применения

Этот стандарт касается эллипсометрии, метода определения оптических и диэлектрических проницаемостей в спектральном диапазоне UV-VIS-NIR, а также толщины слоев в области оперативного контроля производства, обеспечения качества и разработки материалов.

DIN 50989-1:2018 Ссылочный документ

• DIN EN ISO/IEC 17025:2005 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий (ISO/IEC 17025:2005); Немецкая и английская версия EN ISO/IEC 17025:2005.
• ISO/IEC Guide 98-3:2008  Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения (GUM:1995).

DIN 50989-1:2018 История

• 2018 DIN 50989-1:2018 Эллипсометрия. Часть 1: Принципы; Текст на немецком и английском языках
• 1970 DIN 50989-1 E:2017-04
• 0000 DIN 50989-1:2017